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新材料领域:功能性薄膜

文章来源: 发布时间: 2022-10-21

成果名称 

功能性薄膜 

联系人 

康升红

联系电话 

0551-65591440 

   

shkang@issp.ac.cn

所属产业领域 

新材料 

所处阶段 

成熟待产业化 

所属研究所(中心):固体物理研究所 

成果简介

如导电薄膜、铁电/介电薄膜、磁性薄膜、光学薄膜及其他复合功能性薄膜,是电存储器、微电子信息、精密光学等仪器的重要组成部分,有着广泛的应用。 

主要技术指标(或参数): 

铁电薄膜为例:(BiFeO3Bi4Ti3O12(Ba, Sr)TiO3 

1、大尺寸(可达1英寸); 

2、铁电极化强度大于50uC/cm2

3、化学溶液法可实现功能薄膜多品种、大尺寸、低成本批量制备。

其他可制备的功能薄膜有:

1、导电薄膜:LaNiO3(La, Sr)MnO3(微结构和性能可调); 

2、磁性薄膜:CoFe2O4SrFe12O19/BaFe12O19(La, Sr)MnO3(微结构和性能可调);AMoO4(光致发光); 

3、光学薄膜:ZnOBaSnO3(La, Sr)TiO3(透明导电可调); 

4、其它功能薄膜:CeO2(固体氧化物燃料电池、微结构可调),层状钴基氧化物薄膜(热电性能可调),Ga2O3(紫外探测器件)。 

应用领域: 

电存储器、微电子信息、精密光学等仪器。 

市场前景

部分多功能薄膜已经提供给哈佛大学、斯坦福大学和麻省理工学院/清华大学、北京大学等国内外大学及美国、日本等国外知名企业。 

拟转化的方式(或合作模式): 

可采用研究所与企业通过成果转让或技术入股等方式,共同推进该成果的产业化。 

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