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专利名称:扫摆式干涉仪控制系统

文章来源: 发布时间: 2020-01-10

专利名称:扫摆式干涉仪控制系统 

申 请 号 

CN201510555432.3 

申 请 日 

2015.09.01 

公开(公告)号 

CN105115601B 

公开(公告)日 

2017.06.20 

申请(专利权)人 

中国科学院合肥物质科学研究院

发 明 人 

李胜;李相贤;高闽光;张玉钧;王亚萍;陈军;徐亮;金岭;童晶晶;石建国;李妍;刘文清

专利类型 

发明专利

摘 要 

本发明属于光电检测领域,具体涉及一种扫摆式干涉仪控制系统,包括方向检测单元、中点检测单元、速度检测单元、距离检测单元、驱动单元、单片机,单片机接收所述方向检测单元、扫描中点检测单元、运动速度检测单元、运动距离检测单元检测的动镜运动方向信号、过中点信号、光程差变化速度信号以及光程差变化量信号,并根据这些信号以及预设的扫描速度和扫描距离来控制驱动单元驱动所述动镜摆动。

主权项 

1.一种扫摆式干涉仪控制系统,其特征在于:包括:

方向检测单元,用于检测干涉仪动镜(b1b2)的摆动方向;

中点检测单元,用于检测干涉仪(22)零光程差时动镜(b1b2)的位置;

速度检测单元,用于检测干涉仪(22)光程差的变化速度;

距离检测单元,用于检测干涉仪(22)光程差的变化量;

驱动单元(35),用于驱动干涉仪动镜(b1b2)摆动;

单片机(30),接收所述方向检测单元、中点检测单元、速度检测单元、距离检测单元检 测的动镜(b1b2)运动方向信号、过中点信号、光程差变化速度信号以及光程差变化量信 号,并根据这些信号以及预设的目标扫描速度和扫描距离,采用反馈控制方法控制驱动单 元(35)动作。

IPC信息 

IPC主分类号 

G01J3/06(2006.01)I 

IPC分类号 

G01J3/06(2006.01)I G01J3/45(2006.01)I 

G 物理

 ?G01 测量;测试

  ?G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法

G01J3/00 光谱测定法;分光光度测定法;单色器;测定颜色

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