4月25日，应智能所仿生感知与控制研究中心主任孔德义研究员的邀请，加拿大达尔豪斯大学(Dalhousie)电子与计算机工程系MEMS实验室负责人马源副教授做客智能所创新论坛，作了题为“MEMS 微镜”（ MEMS Micro-Mirror）的学术报告。

　　MEMS技术在光纤通讯网络中发挥着越来越重要的作用，其中，基于MEMS技术开发的微镜正在逐步取代传统的光纤网络接口部件，能大大提高光通讯效率并降低功耗和成本。报告会上，马源副教授首先对MEMS微镜的静电驱动原理和可靠性设计方法进行了深入细致的介绍，包括如何克服微镜触碰底电极导致短路，提高抗冲击性能，降低两维微镜的交叉干扰，减少微镜阵列中各微镜单元之间的电压串扰等等。随后，结合加拿大微加工中心（CMC）的标准工艺流程，举例介绍了一维和两维MEMS微镜的结构设计、仿真和工艺过程，并给出了实验加工和测试结果。马源副教授的精彩报告激起了在场科研人员的兴趣，针对大家的现场提问，她一一作了耐心细致的解答，参会人员获益匪浅。

　　马源副教授于1991年和1994年在东南大学分别获得理学学士和工学硕士学位，于1997年和2002年在加拿大Alberta大学分别获得硕士学位和博士学位。2000-2006年，工作于加拿大一家跨国光通讯公司（JDS Uniphase）。2006年至今，在加拿大Dalhousie大学工作，现为该校电子与计算机工程系副教授，MEMS实验室负责人，加拿大注册工程师协会会员。其研究领域主要包括：微传感器与驱动器，机电一体化设计与分析，光电子，MEMS器件的工业应用等。

马源副教授作报告